來源: A華南檢測技術(shù)網(wǎng)易號(hào)

超聲掃描顯微鏡是用于檢測物體表面、內(nèi)部區(qū)域及內(nèi)部投影,產(chǎn)生高分辨率特征圖像的檢測技術(shù)。由于它能獲得反映物體內(nèi)部信息的聲學(xué)圖像而被廣泛應(yīng)用于無損檢測領(lǐng)域。超聲波掃描主要用于檢測電子元器件、LED、金屬基板的分層、裂紋等缺陷（裂紋、分層、空洞等）；通過圖像對比度判別材料內(nèi)部聲阻抗差異、確定缺陷形狀和尺寸、確定缺陷方位。

超聲波在介質(zhì)中傳播時(shí)，若遇到不同密度或彈性系數(shù)的物質(zhì)，會(huì)產(chǎn)生反射回波，而此種反射回波強(qiáng)度會(huì)因材料密度不同而有所差異，掃描聲學(xué)顯微鏡利用此特性來檢出材料內(nèi)部的缺陷并依所接收的信號(hào)變化將之成圖像，超聲換能器能發(fā)出一定頻率的超聲波，經(jīng)過聲學(xué)透鏡聚焦，由耦合介質(zhì)傳到樣品上。

超聲換能器由電子開關(guān)控制，使其在發(fā)射方式和接收方式之間交替變換。超聲脈沖透射進(jìn)入樣品內(nèi)部并被樣品內(nèi)的某個(gè)界面反射形成回波，其往返的時(shí)間由界面到換能器的距離決定，回波由示波器顯示，其顯示的波形是樣品不同界面的反射強(qiáng)度與時(shí)間（或距離）的關(guān)系。通過控制時(shí)間窗口的時(shí)間，采集某一特定界面的回波而排除其它回波，超聲換能器在樣品上方以二維方式作機(jī)械掃描，通過改變換能器的水平位置，在平面上以接卸掃描的方式產(chǎn)生一幅反射聲波隨反射平面分布的圖像。

超聲掃描顯微鏡是的重要技術(shù)手段之一，與X射線分析具有互補(bǔ)性，X-ray只是穿透，可以看到Voids,Crack,Delamination，但不能判斷出缺陷在哪個(gè)層面，超聲掃描顯微鏡技術(shù)則有更多優(yōu)勢。

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