透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,TEM)是目前使用*普遍的一種電鏡,占使用電鏡的80%,其分辨率、放大倍數(shù)及各項(xiàng)性能都比其他類型電鏡高。透射電鏡是用電子束照射標(biāo)本,用電子透鏡收集穿透標(biāo)本的電子并放大成像,用以顯示物體超微結(jié)構(gòu)的裝置。透射電鏡的分辨率可達(dá)0.2nm,放大倍數(shù)可達(dá)40~100萬(wàn)倍。
透射電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)很復(fù)雜,對(duì)于生物醫(yī)學(xué)工作者來說,只要求對(duì)電鏡的結(jié)構(gòu)有一定的了解,在操作時(shí),能對(duì)其工作狀態(tài)作一般鑒別及調(diào)整。因此,這里對(duì)電鏡的結(jié)構(gòu)只做很簡(jiǎn)要的說明。透射電子顯微鏡主要由電子光學(xué)系統(tǒng)(鏡筒)、真空系統(tǒng)、電子系統(tǒng)三大主要部分組成。
一、電子光學(xué)系統(tǒng)
透射電子顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)全部包括在鏡筒中,它主要由照明系統(tǒng)、成像放大系統(tǒng)和觀察記錄系統(tǒng)三大部分組成。
?。ㄒ唬┱彰飨到y(tǒng)(illuminating system)
照明系統(tǒng)主要由電子槍、聚光鏡兩部分組成。
電子槍有熱發(fā)射、冷發(fā)射和場(chǎng)發(fā)射三種 。*普通的電子槍是熱發(fā)射型電子槍,即一根發(fā)叉形鎢絲,通電流加熱后,發(fā)射出電子束成為電鏡的光源。
聚光鏡的作用是將電子槍發(fā)射出的電子束會(huì)聚在試樣平面上。改變聚光鏡電流密度可調(diào)節(jié)照明束斑的大小及光密度,并通過調(diào)節(jié)聚光鏡光闌的大小來調(diào)節(jié)照明孔徑角。聚光鏡一般有兩個(gè),稱為二級(jí)聚光鏡系統(tǒng)。二級(jí)聚光鏡的作用主要是進(jìn)一步縮小會(huì)聚到樣品上的照明光斑以減少樣品不必要的污染,并可減小樣品的受熱面積。
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成像系統(tǒng)是電子顯微鏡*核心的部件之一,高放大倍數(shù)、高分辨率就是通過成像系統(tǒng)獲得的。
成像放大系統(tǒng)(imagung and amplification system)的主要組成部件如下:樣品室、物鏡、二級(jí)中間鏡、投影鏡。
樣品室一般位于聚光鏡之下、物鏡之上,用以安放載有樣品的載網(wǎng)。樣品室有一氣瑣裝置,以便在更換樣品時(shí),仍然能保證鏡筒的高真空狀態(tài)。
物鏡即成像透鏡,是電鏡*主要、也是*關(guān)鍵的部件,它的性能直接影響到電鏡的性能。物鏡是由帶鐵殼的線圈和具有高導(dǎo)磁率材料制成的極靴構(gòu)成。改變線圈中透鏡電流的強(qiáng)度,就能獲得不同的焦距。
?。ㄈ┯^察記錄系統(tǒng)
觀察記錄系統(tǒng)主要由熒光屏和照相底片室組成。因?yàn)槿搜鄄荒苤苯涌吹诫娮由渚€,所以必須利用電子在熒光屏上激發(fā)出可見光成像來進(jìn)行觀察。若需要記錄圖象,可移開熒光屏,使置于熒光屏下的照相底片暴光成像,再經(jīng)沖洗,即可得到一幅所需的照片,以便**保存。
電鏡結(jié)構(gòu)中,電子光學(xué)系統(tǒng)是電鏡的主體。若將電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)和成像與光鏡的作比較,是有許多相似之處的。電鏡的電子槍能發(fā)射出電子束,相當(dāng)于光鏡的光源, 電磁透鏡相當(dāng)于光鏡中的玻璃透鏡,同樣可區(qū)分為聚光鏡、物鏡和投射鏡。電子束通過樣品經(jīng)放大后就能在熒光屏上顯示圖像,也可以拍攝成照片保存和研究。
樣品放進(jìn)樣品室時(shí)*終是怎樣成像的呢?
成像原理:電子束*先通過聚光鏡,聚光鏡無(wú)放大作用,而有聚積電子束調(diào)節(jié)亮度的作用,經(jīng)聚光鏡的調(diào)節(jié)將電子束的直徑調(diào)節(jié)在約2μm左右。這樣細(xì)的電子束透過樣品時(shí),電子與樣品中的原子發(fā)生碰撞,從而產(chǎn)生電子散射。(不同的結(jié)構(gòu)成分對(duì)電子有著不同的散射程度,結(jié)構(gòu)致密的,特別是被重金屬鹽著色或被鋨酸固定的部分對(duì)電子的散射強(qiáng),結(jié)構(gòu)在熒光屏上較暗,電鏡照片中呈黑色,稱為電子致密。結(jié)構(gòu)疏松的未被重金屬鹽著色的部分對(duì)電子散射弱,結(jié)構(gòu)在熒光屏上的亮度較強(qiáng),電鏡照片中呈淺色,稱為電子透明。)電子束透過樣品之后經(jīng)過一系列電磁透鏡(如物鏡、中間鏡、投影鏡)的放大作用,與熒光屏上形成*終的放大像。
二、真空系統(tǒng)
電鏡的真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵、真空管道、閥門及檢測(cè)系統(tǒng)組成。
在電子顯微鏡中,電子由電子槍發(fā)出經(jīng)過樣品,打到熒光屏上。電子束的穿透力很弱,只有在高真空的情況下才能達(dá)到一定的行程。整個(gè)路程中,應(yīng)該沒有空氣分子的碰撞,這就要求必須將電子束通道、既鏡筒抽成高真空。鏡筒高真空的好壞,直接影響到電鏡能否正常工作。如果真空不好,還會(huì)使燈絲壽命縮短,電子槍也會(huì)放電引起高壓不穩(wěn),樣品也容易污染。因此電鏡工作時(shí),鏡筒的真空度要求在10-4~10-6托,一般 的抽真空系統(tǒng)包括兩至三只機(jī)械泵和一只油擴(kuò)散泵。獲得高真空分兩步:**步由機(jī)械泵抽低真空,從大氣抽到1.33—0.133pa(0.01-0.001mmHg)的真空度;第二步由油擴(kuò)散泵抽高真空,從低真空抽到13.33×10-4 ~10-5Pa(10-5 ~10-6mmHg) 的真空度。若是場(chǎng)發(fā)射型的電鏡,則要利用離子泵或分子泵進(jìn)行抽真空。
三、電子系統(tǒng)
電子顯微鏡的電子系統(tǒng)(electron system)主要有以下幾部分組成:高壓發(fā)生器及電子槍燈絲加熱電源,透鏡穩(wěn)流電路,電子系統(tǒng),穩(wěn)壓電路,安全自控電路,計(jì)算機(jī)控制電路。
(一)高壓發(fā)生器
高壓發(fā)生器是為電鏡提供高壓的裝置,由一個(gè)高壓油箱或氟里昂氣箱和高壓電纜組成,為發(fā)射的電子提供加速能量。其穩(wěn)定性直接影響電鏡的質(zhì)量。一般輸出的高壓有不同的分檔,如35、75、100、150、175、200kv檔,供操作者選擇。
(二) 燈絲加熱電源
燈絲必須加電流使其產(chǎn)生高熱,然后促使電子由燈絲**逸出,形成電子束,作為電鏡的光源。燈絲的加熱電流一般為3a左右,燈絲電流由一精細(xì)的電位器調(diào)節(jié),使燈絲能處于比較合適的狀態(tài)。
?。ㄈ┩哥R穩(wěn)流電路
各透鏡的電流穩(wěn)定性直接影響到成像的分辨率與放大倍數(shù)的精確值。如果透鏡電流不穩(wěn)定,透鏡的磁場(chǎng)強(qiáng)度將發(fā)生變化,造成電鏡圖象的不穩(wěn)定。因此,必須利用穩(wěn)定性能較高的電路來保證向各級(jí)透鏡提供穩(wěn)定電流。現(xiàn)在的穩(wěn)定電路一般由集成電路或晶體管構(gòu)成,因此是低電壓電路。
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現(xiàn)代的電鏡一般都有較好的保護(hù)裝置,當(dāng)突然出現(xiàn)斷電、斷水、真空漏氣或由于外界溫度較高等因素影響儀器工作時(shí),儀器能通過安全自控電路切斷電源或關(guān)閉必要的閥門并發(fā)出警報(bào),提醒操作人員注意,這樣就有效地保護(hù)了儀器,使之不至于在突發(fā)的事故中損壞。
?。ㄎ澹┯?jì)算機(jī)控制電路
在當(dāng)今計(jì)算機(jī)廣泛普及的時(shí)代,新型電鏡也采用計(jì)算機(jī)對(duì)調(diào)試電鏡、測(cè)量工作數(shù)據(jù)等程序進(jìn)行管理,所有必要的數(shù)據(jù)、調(diào)試步驟已全部存入計(jì)算機(jī)程序,這大大簡(jiǎn)化了操作維修人員的工作,在操作維修時(shí)只要調(diào)出相應(yīng)程序,按照其指示,即可方便地完成調(diào)試。這就使電鏡的操作更為簡(jiǎn)化。
四、冷卻系統(tǒng)
包括制冷裝置、冷卻管道、冷卻室及自動(dòng)控制閥。